PG/PBN (반도체용히터)
개요
CVD공정(化學氣相成長法)에 의하여 생성되는 두종류의 물질,
즉 전기전도성 세라믹스 PG (Pyrolytic Graphite)와 전기 절연성 세라믹스 PBN (Pyrolytic Boron Nitride)을 복합화 함으로써 종래의 금속히터와는
전혀 다른 새로운 개념의 히터 및 靜電CHUCK을 세계 최초로 실현했습니다.
PG/PBN 히터의 특징
- 진공챔버 내에서1500℃까지 안정된 고온을 유지 할 수 있습니다.
(사용조건에 따라 2000℃까지 사용가능)
- 대기중에서도 최고 400℃까지사용할 수 있습니다.
- 부식성 가스에 불활성, 전기적 안정성, 기계적 견고성, 내열 및 내충격성, 고효율,
초고속 응답성(3초 이내 1000℃ 상승)
- 장수명 및 교환비용의 경제성(10-7 Torr에서 700℃로 5년이상 가능)
※ 자세한 기술문의는 폐사로 연락 주시면 성심성의껏 대응해 드리겠습니다.
