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제품자료
AIR-Z Heater (에어히터)

Air-Z Heater의 특징

1. Air-Z Heater는 표준제품SAH시리즈, CLH시리즈 그리고 신개발 HD코일을 채용한 SAHD시리즈 등으로 에어 등의
    압축공기(불활성가스)를 공급하여 900℃까지의 열풍으로 변환하는 히터입니다.

2. Air-Z Heater의 규격은 작지만 고밀도 발열체에 의해 그 표면적은 매우 크고, 열풍전달에 매우 안정적이며 효율적입니다.

3. Air-Z Heater 내부에 장착된 센서에 의해 ±1℃ 이내의 정밀한 열풍을 사용할 수 있습니다.

4. Air-Z Heater의 용도는 각종 반도체장비, 자동화장비 등 모든 제조공정에 사용이 가능하며,
    Chamber 내부의 분위기온도 유지 외 건조, 예열, 가열, 열융해, 절단, 용접 등에 사용할 수 있습니다.

5. 타 제품에 비해 최고의 열효율과 수명을 자랑합니다.

6. Particle(미세먼지)에 취약한 공정에는 Clean-Room 전용 CLH시리즈가 있습니다

Air-Z Heater의 구조



Air-Z Heater의 규격
■SAH : Max800℃ ■SAHD : Max900℃ ■CLH : Clean-Room 전용
Type Model 최소유량(lpm) 권장최소유량(lpm) I.D / NIPPLE O.D Length View
SAH(D) 표준규격 10H 100~200W 5 15 8.5 13 57~70
350~440W 5 25 8.5 13 102
650~800W 5 50 8.5 13 173
15H 650W 10 50 12.5 19 159
1~1.2KW 10 60 12.5 19 179
18H 1KW 15 60 15 22 178
2KW 15 100 15 22 278
3KW 15 100 15 22 378
29H 2KW 40 100 M32-P1.0 34 220
3KW 40 100 M32-P1.0 34 290
5KW 40 150 M32-P1.0 34 440
38H 5KW 40 150 R3/4,R3/8 42.7 440
6KW 50 150 R3/4,R3/8 42.7 440
10x6PH 1.2KW 30 60 1/8PT 38 97
1, 2, 3KW 30 60~100 M36-P1.0 38 100~193
15x6PH 6, 9, 12KW 40 150 M48-P1.0 50 215~330
18x6PH 12, 18KW 50 200 M58-P1.0 60.5 300~415
30x6PH 18, 30KW 120 250 M98-P1.0 101.6 350~160
SAH(D) 열선교체형 규격 10S 100W~1KW 5 15~60 8.5 13 57~150
15S 500W~1.2KW 10 30~60 12.5 19 75~120
CLH    클린룸전용 10PH 100~150W 10 15 R1/8,R1/4 13 113~153
15PH 250W 10 15 R1/8,R1/4 19 168
29PH 1KW 10 60 - 34 300
38PH 1.5~4KW 10~40 50~100 R3/8,R3/4 42.7 385~680
38x6PH 12KW 50 150 - - 500
45PH 3~4KW 40 100~120 R3/4 50 550~680
SAH(D) 미니규격 4M 100W 0.5 2 4 6 35~55
6M 150~300 1 3 6 8 45~70
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Air-Z Heater의 사용 시 주의사항
- 가동 시 에어 주입 후 → 전원을 공급해야 합니다.
- 정지 시 전원 차단 후 → Air를 3분 이상 공급하여 발열체를 냉각 후 중단해야 합니다.
- Heater의 전원선 부분의 온도를 200℃ 이내로 유지해야 합니다.
- 사용하는 Air 또는 불활성 가스는 청결한 것을 사용해야 합니다.


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