AIR-Z Heater (에어히터)
Air-Z Heater의 특징
1. Air-Z Heater는 표준제품SAH시리즈, CLH시리즈 그리고 신개발 HD코일을 채용한 SAHD시리즈 등으로 에어 등의
압축공기(불활성가스)를 공급하여 900℃까지의 열풍으로 변환하는 히터입니다.
2. Air-Z Heater의 규격은 작지만 고밀도 발열체에 의해 그 표면적은 매우 크고, 열풍전달에 매우 안정적이며 효율적입니다.
3. Air-Z Heater 내부에 장착된 센서에 의해 ±1℃ 이내의 정밀한 열풍을 사용할 수 있습니다.
4. Air-Z Heater의 용도는 각종 반도체장비, 자동화장비 등 모든 제조공정에 사용이 가능하며,
Chamber 내부의 분위기온도 유지 외 건조, 예열, 가열, 열융해, 절단, 용접 등에 사용할 수 있습니다.
5. 타 제품에 비해 최고의 열효율과 수명을 자랑합니다.
6. Particle(미세먼지)에 취약한 공정에는 Clean-Room 전용 CLH시리즈가 있습니다
Air-Z Heater의 구조
Air-Z Heater의 규격
■SAH : Max800℃ ■SAHD : Max900℃ ■CLH : Clean-Room 전용
Type |
Model |
최소유량(lpm) |
권장최소유량(lpm) |
I.D / NIPPLE |
O.D |
Length |
View |
SAH(D) 표준규격 |
10H |
100~200W |
5 |
15 |
8.5 |
13 |
57~70 |
|
350~440W |
5 |
25 |
8.5 |
13 |
102 |
|
650~800W |
5 |
50 |
8.5 |
13 |
173 |
15H |
650W |
10 |
50 |
12.5 |
19 |
159 |
|
1~1.2KW |
10 |
60 |
12.5 |
19 |
179 |
18H |
1KW |
15 |
60 |
15 |
22 |
178 |
|
2KW |
15 |
100 |
15 |
22 |
278 |
3KW |
15 |
100 |
15 |
22 |
378 |
29H |
2KW |
40 |
100 |
M32-P1.0 |
34 |
220 |
|
3KW |
40 |
100 |
M32-P1.0 |
34 |
290 |
5KW |
40 |
150 |
M32-P1.0 |
34 |
440 |
38H |
5KW |
40 |
150 |
R3/4,R3/8 |
42.7 |
440 |
|
6KW |
50 |
150 |
R3/4,R3/8 |
42.7 |
440 |
10x6PH |
1.2KW |
30 |
60 |
1/8PT |
38 |
97 |
|
1, 2, 3KW |
30 |
60~100 |
M36-P1.0 |
38 |
100~193 |
|
15x6PH |
6, 9, 12KW |
40 |
150 |
M48-P1.0 |
50 |
215~330 |
|
18x6PH |
12, 18KW |
50 |
200 |
M58-P1.0 |
60.5 |
300~415 |
|
30x6PH |
18, 30KW |
120 |
250 |
M98-P1.0 |
101.6 |
350~160 |
|
SAH(D) 열선교체형 규격 |
10S |
100W~1KW |
5 |
15~60 |
8.5 |
13 |
57~150 |
|
15S |
500W~1.2KW |
10 |
30~60 |
12.5 |
19 |
75~120 |
|
CLH 클린룸전용 |
10PH |
100~150W |
10 |
15 |
R1/8,R1/4 |
13 |
113~153 |
|
15PH |
250W |
10 |
15 |
R1/8,R1/4 |
19 |
168 |
|
29PH |
1KW |
10 |
60 |
- |
34 |
300 |
|
38PH |
1.5~4KW |
10~40 |
50~100 |
R3/8,R3/4 |
42.7 |
385~680 |
|
38x6PH |
12KW |
50 |
150 |
- |
- |
500 |
|
45PH |
3~4KW |
40 |
100~120 |
R3/4 |
50 |
550~680 |
|
SAH(D) 미니규격 |
4M |
100W |
0.5 |
2 |
4 |
6 |
35~55 |
|
6M |
150~300 |
1 |
3 |
6 |
8 |
45~70 |
|
|
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Air-Z Heater의 사용 시 주의사항
- 가동 시 에어 주입 후 → 전원을 공급해야 합니다.
- 정지 시 전원 차단 후 → Air를 3분 이상 공급하여 발열체를 냉각 후 중단해야 합니다.
- Heater의 전원선 부분의 온도를 200℃ 이내로 유지해야 합니다.
- 사용하는 Air 또는 불활성 가스는 청결한 것을 사용해야 합니다.
온도조절기 결선방법